MSB Series Medium Frequency Sputtering Power Supply

Maikling Paglalarawan:

Ang RHH series na RF power supply ay umaasa sa mature na RF generation technology upang magbigay sa mga customer ng RF power supply na may higit na kapangyarihan, mas mataas na precision at mabilis na pagtugon. Sa phase ay maaaring itakda, pulse nakokontrol, digital tuning at iba pang mga function. Mga naaangkop na larangan: industriya ng photovoltaic, industriya ng flat panel display, industriya ng semiconductor, industriya ng kemikal, laboratoryo, siyentipikong pananaliksik, pagmamanupaktura, atbp.

Mga naaangkop na proseso: plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD), plasma etching, plasma cleaning, radio frequency ion source, plasma diffusion, plasma polymerization sputtering, reactive sputtering, atbp.

Detalye ng Produkto

Mga Tag ng Produkto

Magpadala ng email sa amin

Mga tampok

● Mga istilong half-brick at rack mount

● I-adopt ang ganap na digital control, na may maginhawa at rich operation menu

● Frequency tuning, pulse at pulse synchronization function

● Gamit ang function ng pag-synchronize ng CEX phase

● perpektong proteksyon function

Detalye ng Produkto

Input	Input na boltahe: AC220V±10% 3ΦAC380V±5%(Maaaring i-customize ang mga espesyal na detalye)
Input	Dalas ng pag-input: 47~63Hz
Output	Dalas ng output: 13.56MHz, 27.12MHz,40.68MHz
	Saklaw ng pag-tune: ±5%
	Output power: 1.5~5kW
	Saklaw ng regulasyon ng kapangyarihan ng output: 1~100%
	Output impedance: 50Ω+j0
	Output interface: uri N
	Output mode: tuloy-tuloy, pulso
	Dalas ng pulso: 100Hz~100kHz
	Duty cycle: 5~95%
Index ng pagganap	Power factor: 0.98
	Katumpakan ng katatagan ng dalas: ±0.005%
	Kahusayan: 75% (sa na-rate na output)
	Harmonic: ＜-45dBc
	Naliligaw: ＜-50dBc
	Panlabas na interface ng kontrol: dami ng analog, komunikasyon at pag-synchronize
	Mode ng komunikasyon: Standard RS485 interface ng komunikasyon; Opsyonal na Ether CAT, pang-industriyang Ethernet, atbp.
Tandaan: ang produkto ay patuloy na nagbabago at ang pagganap ay patuloy na bumubuti. Ang paglalarawan ng parameter na ito ay para sa sanggunian lamang.